Hassas parça işleme, tüm yüzeylerin tüm işleme içeriğini tek bir işlemde tamamlamak mümkün değildir ve hassas parça işlemenin tüm işleme süreci aşağıdaki aşamalara ayrılabilir.
(1) Kaba işleme aşaması.Her işleme yüzeyinin işleme ödeneğinin çoğunu kesin ve hassas ölçütlerin işlenmesi, ana düşünce, üretkenliği mümkün olduğu kadar artırmaktır.
(2) Yarı bitirme aşaması.Kaba işlemeden sonra ortaya çıkabilecek kusurları kesin ve ikincil yüzeyin işlenmesini tamamlarken, belirli bir işleme hassasiyeti gerektiren ve uygun bitirme payını sağlayan yüzey bitirme işlemine hazırlanın.
(3) Bitirme aşaması.Bu aşamada, büyük bir kesme hızı, küçük ilerleme ve kesme derinliği kullanarak, parçanın yüzeyinin çizimin teknik gereksinimlerini karşılaması için önceki işlemin bıraktığı bitirme marjını kaldırın.
(4) bitirme aşaması.Esas olarak yüzey pürüzlülük değerini azaltmak veya işlenmiş yüzeyi güçlendirmek için kullanılır, esas olarak yüzey pürüzlülüğü gereksinimleri çok yüksek (ra ≤ 0,32 μm) yüzey işlemedir.
(5) Ultra hassas işleme aşaması.0.1-0.01 μm'de işleme hassasiyeti, yüzey pürüzlülük değeri ra ≤ 0.001 μm işleme aşaması.Ana işleme yöntemleri şunlardır: hassas kesim, ince ayna taşlama, hassas taşlama ve parlatma vb.